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Mikrosystemtechnik

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Online-Testverfahren in der Mikrosystemtechnik. Untersuchung und Entwicklung von Selbsttestverfahren zur Unterstützung des Entwurfs von selbsttestfähigen diskreten Sensorsystemen - Detmar Westphal

Online-Testverfahren in der Mikrosystemtechnik. Untersuchung und Entwicklung von Selbsttestverfahren zur Unterstützung des Entwurfs von selbsttestfähigen diskreten Sensorsystemen

Detmar Westphal

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Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile ... für Produktionstechnik Universität Karlsruhe) - Matthias Schlipf

Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile ... für Produktionstechnik Universität Karlsruhe)

Matthias Schlipf

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Die fertigungsnahe Qualitätssicherung und Prozessregelung von hybriden Mikrofertigungsprozessen steht insbesondere vor zwei Herausforderungen. Erstens sind die Qualitätsergebnisse von Mikrofertigungsprozessen durch eine hohe Variabilität aufgrund von Größeneffekten sowie veränderten Umwelt- und Prozessbedingungen im Mikrobereich charakterisiert. Zweitens liegt bei den hohen Genauigkeitsanforderungen im ( Sub-) Mikrometerbereich die Streuung des Messprozesses in der Größenordnung der Streuung des Mikrofertigungsprozesses und erschwert die Entscheidung über Annahme oder Ablehnung des Messobjektes bezogen auf dessen Funktionstüchtigkeit. Die vorliegende Arbeit setzte sich daher zum Ziel, zum Einen eine Methodik zur kontinuierlichen Reduzierung der Variabilität von Mikrofertigungsprozessen und zum Anderen ein Werkzeug zur kontinuierlichen Visualisierung, Überwachung und Trennung der Streuung von Fertigungs- und Messprozess zu entwickeln.

Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS) - Alexander Kulygin

Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)

Alexander Kulygin

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Injektionssystem und Massenflussregler in Mikrosystemtechnik für die Gaschromatographie - Olaf Krusemark

Injektionssystem und Massenflussregler in Mikrosystemtechnik für die Gaschromatographie

Olaf Krusemark

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Miniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät (Mikrosystemtechnik) - Günther Waibel

Miniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät (Mikrosystemtechnik)

Günther Waibel

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Wirbelblendendurchflusszähler mit mikrotechnischer Signalwandlung (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik) - Oliver Berberig

Wirbelblendendurchflusszähler mit mikrotechnischer Signalwandlung (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik)

Oliver Berberig

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Thermisches Ausdehnungsverhalten von MoCu-, WCu-Werkstoffen und FeNi-Schichten für mikrosystemtechnische Anwendungen (Berichte aus der Materialwissenschaft) - Bora Kocdemir

Thermisches Ausdehnungsverhalten von MoCu-, WCu-Werkstoffen und FeNi-Schichten für mikrosystemtechnische Anwendungen (Berichte aus der Materialwissenschaft)

Bora Kocdemir

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Baukastenbasierte Entwicklungsmethodik für die rechnerunterstützte Konstruktion von Mikrosystemen (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik) - Udo Triltsch

Baukastenbasierte Entwicklungsmethodik für die rechnerunterstützte Konstruktion von Mikrosystemen (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik)

Udo Triltsch

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Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen (Selected Topics of Electronics and Micromechatronics ... Probleme der Elektronik und Mikromechatronik) - Robert Sattler

Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen (Selected Topics of Electronics and Micromechatronics ... Probleme der Elektronik und Mikromechatronik)

Robert Sattler

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Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik (Berichte aus der Elektrotechnik) - Clemens Krüger

Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik (Berichte aus der Elektrotechnik)

Clemens Krüger

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24.05.2022  10