Mikrosystemtechnik

FEM-unterstützter Mikrosystementwurf

Frank Schilling

Mikromechanische Beschleunigungsschalter für Airbagsysteme

Tore Lied Tönnesen

Diffusionsmodifiziertes, fotosensibles Glas - Gefügeuntersuchungen und Tiefenstrukturierung

Heike Baumgart

Verfahrens- und Werkstoffentwicklung zur Herstellung oxidkeramischer Mikroformteile mit minimiertem Sinterschrumpf

Volker D. Hennige

Einsatz der Lasertechnik in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Metallisierung durch UV-laserinduzierte Prozesse

H. Frerichs

MICRO SYSTEM Technologies 2001. Düsseldorf, March 27-29, 2001, International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components

Mikrosystemtechnik Auf Silizium (German Edition)

Ulrich Hilleringmann

Mikrosystemtechnik

Technologien für Mikrosysteme. Stand und Entwicklung

Mikromechanische Vibrationssensoren mit Faserauskopplung (Fortschrittsberichte VDI Reihe 8)

Dirk Scholz

Mikrosystemtechnik