Mikrosystemtechnik

Beitrag zur Untersuchung von passiven planaren Hochgeschwindigkeitsmagnetlagern für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik

Markus Klöpzig

Mikrotechnische Drehratengyroskope mit hoher Genauigkeit (Berichte aus der Mikromechanik)

Wolfram Geiger

Mikroapplikation von ungefüllten Klebstoffen zum Kleben in der Mikrosystemtechnik (Aachener Berichte Fügetechnik)

Markus Möller

Mikrosystemtechnische Realisierung von Induktivitäten

Florian Wiest

Plasmagestützte Ionenquelle in Mikrosystemtechnik für den Einsatz in einem miniaturisierten Massenspektrometer

Peter Siebert

Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren

Thomas Lisec

Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik

Benno Bröcher

Integration von Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik

Bernhard Elsner

MOS-kompatible Temperaturerfassung zur On-Chip Temperaturkompensation auf Single-Chip Mikrosystemen

Thorsten Kunig

Mikrosystemtechnische Vibrationssensoren zur automatisierten Zustandsüberwachung von Drehwerkzeugen

Jochen Thomas

Mikrosystemtechnik